氣相(xiang)沉(chen)積(ji)按形(xing)(xing)成(cheng)的(de)(de)(de)基本原理(li)，分(fen)為化(hua)學氣相(xiang)沉(chen)積(ji)（CVD）和物理(li)氣相(xiang)沉(chen)積(ji)（PVD）。氣相(xiang)沉(chen)積(ji)是(shi)在(zai)工(gong)件(jian)表面覆蓋一(yi)層厚度為0.5～10μm的(de)(de)(de)過渡族元素（Ti、V、Cr、W、Nb等(deng)）與C、N、O、B等(deng)形(xing)(xing)成(cheng)的(de)(de)(de)化(hua)合物，或單(dan)一(yi)的(de)(de)(de)金(jin)(jin)屬及非金(jin)(jin)屬涂(tu)層，使(shi)零(ling)件(jian)表層改變化(hua)學成(cheng)分(fen)，并(bing)在(zai)其表面形(xing)(xing)成(cheng)功能性(xing)（例如(ru)超硬(ying)耐磨層）或裝飾性(xing)的(de)(de)(de)化(hua)合物涂(tu)層的(de)(de)(de)新技術，現已廣泛應用于各(ge)類(lei)零(ling)件(jian)的(de)(de)(de)硬(ying)化(hua)處(chu)理(li)。沉(chen)積(ji)層的(de)(de)(de)主要類(lei)別及特性(xing)見表3-38。
主(zhu)要應用的沉積層TiC、TiN涂層有以下特點：
a. 涂層(ceng)有很(hen)高(gao)的硬度(du)（TiC：2980～3800HV，TiN：2400HV）、低的摩擦(ca)因數(shu)和(he)自(zi)潤(run)滑(hua)性能，所以抗(kang)磨粒磨損性能良好(hao)。
b. 涂層(ceng)具有很(hen)(hen)高的熔點(dian)（TiC：3800℃，TiN：2950℃），化學穩定性好，基體金屬在涂層(ceng)中(zhong)的溶解(jie)度(du)小，摩擦因數較低，因而具有很(hen)(hen)高的抗粘著磨損能(neng)力，使用中(zhong)發(fa)生冷焊和咬合(he)的傾向也很(hen)(hen)小，而且TiN比TiC更(geng)好。
c. 涂層有(you)較強的耐蝕性(xing)(xing)，TiC涂層在硫酸、鹽酸、氯化鈉水溶液中(zhong)的耐蝕性(xing)(xing)良好，而且TiN的耐蝕性(xing)(xing)一(yi)般(ban)都比(bi)TiC更好一(yi)些。
d. 涂層在高溫下也具有良好的抗大氣氧化能力（TiC大約可達400℃，TiN大約可達500℃），高于以上溫度，在空氣中的TiC、TiN將被氧化成TiO2而失去其原來的性能。
